001 图形尺寸校正装置和图形尺寸校正方法 002 高耐热性负型光敏树脂组合物 003 用于夹层绝缘膜的光敏组合物及形成带图形夹层绝缘膜的方法 004 形成防反射膜的组合物 005 使印刷电路板曝光的装置 006 投影光学系统、微影方法、曝光装置及使用此装置的方法 007 激光退火的制程光罩以及利用激光退火形成多晶系膜层的方法 008 涂料组合物 009 蚀刻组合物 010 凸起物和间隔物的形成及用于形成它们的辐射敏感树脂组合物 011 光敏树脂组合物及其用途 012 一种精密可调定位装置 013 抗蚀剂组合物 014 形成和修正具有间隙缺陷的光刻版的方法 015 光掩膜及修补缺陷的方法 016 微接触印刷方法 017 中间掩模版保持器和中间掩模版的组件 018 曝光装置和定位方法 019 一种化学放大型正光刻胶组合物 020 蚀刻用组合物及蚀刻处理方法 021 图形形成材料、以及图形形成装置和图形形成方法 022 正性光刻胶的制作方法 023 球表面带有永久性图文的金属制品的制备方法及金属地球仪 024 一种应用于光学光刻系统的孔径盘 025 提高曝光直线的标准影像对数斜率的方法 026 具有可变快门的曝光机台及其曝光方法 027 光掩模微尘清除器及光掩模微尘清除程序 028 采用光刻和干刻制造碳纳米管多层图案的方法 029 光刻机成像质量的检测方法 030 载置台装置及曝光装置 031 图形形成方法和半导体器件的制造方法 032 确定光刻装置的投影系统的像差的方法 033 光刻装置,器件制造方法和可变衰减器 034 具有紫激光感光性抗蚀剂材料层的成像材料及其抗蚀剂成像法 035 可聚合组合物,聚合物,抗蚀剂及蚀刻方法 036 用于中间层电介质的光敏组合物和形成图案化中间层电介质的方法 037 将衬底在工作台上对齐的方法 038 制作金属相片的方法 039 抗蚀材料以及利用该材料形成图案的方法 040 正型抗蚀剂组合物 041 正型抗蚀剂组合物 042 薄膜工件的切割方法 043 图形曝光方法以及图形曝光装置 044 一种调焦调平检测装置 045 光刻设备及器件制造方法 046 曝光装置 047 曝光装置及方法 048 曝光装置及器件制造方法 049 光刻装置和器件制造方法 050 曝光装置及其曝光方法、校正方法 051 激光绘图装置、激光绘图方法以及光掩模的制造方法 052 光刻设备和设备制造方法 053 正相抗蚀膜的剥离方法、曝光用掩模的制造方法以及抗蚀剂剥离装置 054 光致抗蚀剂剥离剂组合物 055 用于将图案转印到物体的设备 056 用于喷砂保护层的光聚合树脂组合物 057 活性能量射线敏感性树脂组合物、活性能量射线敏感性树脂膜以及使用该膜形成图... 058 用于制造曝光结构的方法和装置 059 用于小线条印刷的光刻方法 060 剥离液 061 有中间检查薄膜层的改进的光学掩模 062 网板印刷用金属掩模版 063 平版印刷版原版 064 化学增幅型正型光致抗蚀剂组合物 065 旋涂材料层的平坦化方法及光致抗蚀剂层的制造方法 066 光刻装置及其应用方法 067 使用干涉成像光刻法的部件优化 068 光刻胶剥离剂组合物 069 用于双层光刻的低硅排气抗蚀剂 070 激光掩模以及使用该激光掩模的结晶方法 071 利用高酸碱值浸润流体的浸润式微影技术的方法与系统 072 氰基金刚烷基化合物和聚合物和含有它们的光致抗蚀剂 073 产生模拟曝光工具成像性能模型的方法、装置和程序产品 074 光刻装置和器件制造方法 075 光刻装置、照明系统和用于旋转强度分布的光学元件 076 光刻装置及器件制造方法 077 平版印刷装置和器件制造方法 078 多层分划板 079 193nm抗蚀剂 080 用于对衬底侧面进行布线的光刻方法 081 电子符合型中文光学并行自动照相排字机 082 原子印章数控数显制版机 083 原子印章半自动立式制版照相机 084 液、固体感光性树脂版两用制版机 085 滚筒式照排机的同步装置 086 定位式拼版机 087 非接触式光刻曝光光学系统 088 光热制版机 089 数控光电刻版机 090 光印绘图笔 091 连晒机单片微电脑控制箱 092 自动光学照排机 093 液体树脂版制版机 094 感光版制版机 095 普通绘图仪用笔式光绘装置 096 重氮复印机差动式分离装置 097 多功能感光树脂制版机 098 晒图机自动卷图装置 099 多规格彩色相片扩放附加装置 100 减压真空导入装置 101 光刻机的自动调焦装置 102 大面积紫外光刻(曝光)机的光学系统 103 动态光栅刻划机的自动调焦装置 104 多光束激光转镜式光学扫描系统 105 银盐印版制版机 106 印刷电路板底片光绘仪 107 彩色放大校色打样机 108 光学套版投映装置及装有该装置的影象套版机 109 一种节能型感光树脂版晒版机 110 一种重氮复印机显影用橡胶管 111 多功能便携式照相制版机 112 冷光源晒版机 113 绘图专用曝光孔头 114 一种晒图机中熏筒的温度自动控制系统 115 多功能制版机 116 明暗室照相制版一体机 117 非接触式编码曝光头 118 曝光装置 119 一种多用途照相制版机 120 重氮复印机显影装置分流式压力刮板 121 多功能快速拷贝制版机 122 多用途树脂制版机 123 轻便节能晒版箱 124 网版印刷自动制版设备 125 台式连晒机 126 大型晒版机 127 一种简易竖卧式投影、照相、制版机 128 放大照相复印制版机 129 图文影像同步光学套版合成设备 130 制版机 131 深亚微米X射线光刻装置 132 一种用于制作量子线超微细图形的光刻掩模 133 一种夹板式X光光刻对准装置 134 万能快速制版机 135 铝版基平印预涂双面感光版 136 一种接近式缩小光刻曝光台 137 重氮复印机显影部分手动控制装置 138 垂直式蚀刻机的PC板传动装置 139 一种制版清洗工艺中的洗刷装置 140 触持阴极离子束刻蚀机 141 带有环尺的掩模版 142 一种制版工艺中的冲洗装置 143 一种制版工艺中的曝光装置 144 一种紫外(i线)投影光刻光学透镜系统 145 无氨自动分离重氮复印机 146 多功能拷贝机 147 光刻机环形光栅离轴照明光学系统 148 亚微米光刻机的调焦装置 149 亚微米光刻机光栅衍射同轴对准装置 150 光刻机相位光栅离轴照明光学系统 151 分辨力自增掩模板 152 双面PS版感光层涂布装置 153 彩色显示管或彩色显像管曝光设备上的滤光片活动装置 154 一种制版清洗工艺中洗版刷的驱动机构 155 激光双光束全息制版仪 156 一种制版机台面装置 157 感光性树脂版制版机洗版机构 158 用于地图注记的感光胶片 159 大面积步进扫描式曝光机 160 制版机双气室两段式高速真空吸气装置 161 新型的网板制版机 162 制造印章印面的曝光装置 163 热上光固化分切装置 164 台式曝光烘干装置 165 彩色喷墨打印用PVC背喷透明胶片 166 亚微米光刻机光学预对准装置 167 投影光刻成像滤波装置 168 一种干涉光刻多光束形成系统 169 超高分辨率超高速激光全息刻录机 170 高质量光学积分器件 171 一种用于X射线光刻的相移掩模 172 全自动PS版烘版机 173 激光光绘机自动上片装置 174 基板曝光装置 175 日光曝晒制版装置 176 曝光机的电路板对位装置 177 曝光机曝光框的掀启装置 178 等量光扫平版晒版机 179 曝光机的能量积算控制器 180 曝光机的浮动下框装置 181 曝光机紫外线灯反射罩的装置 182 曝光机的近似平行光控制增益结构 183 电路板输送制程挡水装置 184 光阻剥离装置 185 一种专用于微流控芯片制作的光刻机 186 一种光罩盒的承载件 187 电路板蚀刻机输送装置 188 曝光设备的冷却装置 189 环保水溶性柔版曝光洗版机 190 单面防焊曝光机 191 一种新型的掩模板设计制作结构 192 氧化铁光刻掩膜版 193 印刷电路板显影机除泡装置 194 一种用于珂罗版印刷的印版 195 光扫描式超高速激光全息刻录机 196 2.5英寸×5英寸UT1倍光刻版 197 图形发生器 198 黄光微影设备曝光机之可调节型掩膜版吸附台 199 数字全息两次曝光位相差放大装置 200 曝光工序工作版遮光装置 201 铝塑复合版基预涂感光版 202 一种圆柱面光栅光刻刻划机 203 一种微细光束紫外光源 204 可避免电荷效应所导致电子束偏移的光罩母片 205 透明喷墨打印胶片 206 具有双嵌附层的减光型相移光罩 207 蚀刻系统及其纯水添加装置 208 基于紫外半导体光源的桌面光造型装置 |
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